SEM5000Pro

SEM5000Pro 는 고 해상도 이미징 분석능력을 갖춘 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM)으로 최첨단의 전자 광학 컬럼 설계와 고압 전자 빔 터널(Super Tunnel) 기술을 적용하였습니다.

이는 저 수차 및 MFL 대물렌즈를 통해 저 전압 에서도 고 해상도 이미지를 구현하며, 자성 시료도 분석할 수 있습니다.

SEM5000Pro 는 ETD Detector 와 Inlens Detector 를 기본 장착되며, 가속전압 15kV 에서 0.8nm 의 뛰어난 분해능을 갖추고 있습니다. 또한 1kV 에서 1.2nm 의 저 전압 고 분해능을 구현하여 낮은 가속전압에서는 시료의 전도성 코팅 없이 전자 빔 Damage를 최소화하여 수준 높은 결과물을 획득할 수 있습니다.

 ■  규격 

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      ▶​Electron gun: Low voltage high resolution Schottky field emission

      ▶​Electron optics: Super-Tunnel / Deceleration in column

      ▶​Spatial resolution: 0.8nm @ 30kV (SE)

      ▶​Magnification: 1 ~ 2,500,000x 

      ▶​Accelerating voltage: 20V ~ 30kV

      ▶​Detector: ETD(SE detector), Inlens Detector,  BSE detector,

      ▶​Stage: 5-axis automatic

      ▶​Vacuum system: High vacuum, AirLock module(4 inch, 8 inch / option)

 ■  Super-Tunnel / Deceleration in column 

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      ▶Space charge effect 감소: 저전압 해상도 우수

      ▶전자의 광학 경로 교차 제거: 렌즈의 수차를 줄이고 해상도 향상

      ▶전자기 & 정전기 복함 대물렌즈 사용: 수차 감소 및 저전압 해상도 향상

      ▶수냉식 정전력 대물렌즈: 대물렌즈의 안정성, 신뢰성, 재현성 향상

      ▶기계적 작동 없이 전자동으로 교환되는 다양한 multi-hole aperture