주사전자현미경
(Scanning Electron Microscope)

주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, 이하 SEM)은 전자빔을 시료에 주사시켜 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 2차 전자를 촬영하여 이미지화 하여 시료 표면의 미세 모양, 미세 크기, 미세 구조 등을 연구하는 장비입니다.  원소의 조성 정보는 제공하지 않으나 Energy Dispersive X-ray Spectroscopy(EDS) 등을 부착하여 조성 정보를 알아 낼 수 있습니다. 

SEM은 재료를 평가하는 가장 기본적인 장비로 시료 표면의 미세 특성 뿐만 아니라 EDS를 통한 정량, 정성 분석 및 내부 구조의 분순물, 결함, 응력, 밀도 등을 연구할 수 있습니다.