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전계방출형 주사전자현미경
(FE-SEM)
CIQTEK 사의 FE-SEM은 0.6nm~0.9nm 의 매우 높은 분해능을 제공하며 inlens detector가 기본 장착되어 있고 시료의 전도성 코팅을 하지않고도 저전압에서 고해상도의 이미지를 얻을 수 있습니다. 뿐만 아니라 최신 전자 광학 컬럼 설계 및 고압 전자 빔 터널(Super Tunnel) 기술이 적용되어, 저수차 및 고해상도의 이미징 성능을 발휘합니다. 이로 인해 다양한 형태의 시료를 분석할 수 있습니다. 유센트릭 5축 스테이지와 큰 AirLock 모듈을 통해 정확한 위치 제어와 시료 교환을 용이하게 합니다.
■ Line up & 규격
■ 공통 특징
▶ Mechanical 유센트릭 5-axis stage
• 기계적 정확도가 높은 볼 스크류 사용
• Tilt 축 지지 강도가 향상되어 이동 정확도와 안정성 향상
▶ Low Vacuum Mode
• 압력 제한 조리개 없이 10 - 180 Pa 도달
• 전자 평균 자요 경로를 최소화하여 1.5nm (@ 30kV) 해상도 달성
G : Gas molecules
+ : Positive ions
e- : Electrons
: Secondary electrons
: Scattered electrons
: Photons
* Low Vacuum Mode *
- 시료 표면에서 방출되는 2차 전자가 공기분자를 이온화하고 동시에 전자, 이온, 광자를 생성
- 생성된 전자가 다른 공기 분자를 추가로 이온화하여 저진공 2차 전자 검출기(LVD)가 이 과정에서 생성된
다량의 광자 신호 포착
▶ 직관적인 소프트웨어
• 한번의 클릭으로 다수의 기능을 자동화하여 결과를 얻을 수 있습니다.
• 측정 tool: 길이, 면적, 진원도, 각도 및 기타 측정 기능 포함
• 대형 FOV 맵핑: 넓은 범위를 자동으로 이미지 맵핑(스티칭) 가능
• 빠른 이미지 스캔 회전
– 선을 드래그 하면 이미지의 각도가 조정됩니다.
• 2개의 camera
– Optical navigation camera와 monitoring in specimen chamber
camera 설치로 HD급 화질의 사진을 촬영하여 한번의 클릭으로
시료 위치를 빠르게 찾아갈 수 있습니다.
– 시료 출동 방지 기능
1) 시료 높이 수동 입력
2) 이미지 인식 및 모션 캡쳐
3) 시료 스테이지 흡수 전류
모니터링
• Quick gesture navigation
마우스를 두 번 클릭하여 이동하고, 드래그하면 프레임이 확대되어
빠르게 관찰 부위를 탐색할 수 있습니다.
Exp: Fram Zoom - 저 배율 내비게이션으로 분석 위치를 크게 볼 수
있도록 원하는 영역을 빠르게 프레임화하고 자동으로 이미지를 확대하여
효율성을 높일 수 있습니다.
• Intelligent assisted astigmatism
전체 시야에서 높낮이가 있는 초점 심도를 보정해 주는 기능으로, 마우스
클릭만으로 빠르게 수정하도록 자동 조정 합니다.
Auto focus (자동 촛점)
Auto stigmator
Auto brightness & contrast
• Auto particle analysis
Mask-RCNN 객체 검출 및 인스턴스 분할 알고리즘을 사용하면 파라미터
조정 없이 이미지의 입자를 정확하게 식별할 수 있습니다.
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