SEM4000Pro
SEM4000Pro은 고 휘도, 긴 수명의 쇼트키 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM) 입니다. 0.9nm 의 고 분해능을 갖추고 있으며, Tabletop-SEM 및 Normal-SEM 에 비하여 휘도가 높아 수십나노 수준의 미세입자구조 분석에는 FE-SEM 에서 훌륭한 결과물을 획득할 수 있습니다.
대형 Chamber 구조로 큰 샘플의 탑재가 간편하며, AirLock 모듈 탑재 시 빠르게 시료교환이 가능합니다. SEM4000Pro 는 SE+BSE Image, Low vacuum mode, Low vacuum SE Detector 등 모든 기능이 기본으로 제공되어 분석범위를 다양화 할 수 있는 고급형 FE-SEM 입니다.
■ 규격
▶Electron gun: High brightness Schottky field emission
▶Electron optics: 3-Stage electromagnetic lens
▶Spatial resolution: 0.9nm @ 30kV (SE)
▶Magnification: 1 ~ 1,000,000x
▶Accelerating voltage: 200V ~ 30kV
▶Detector: ETD(SE detector), BSE detector,
LVD(Low Vacuum SE Detector)
▶Stage: 5-axis automatic
▶Vacuum system: High vacuum, Low vacuum(Max. 180Pa)
■ 3-Stage electromagnetic lens
▶전자기장을 이용한 비접촉식 제어로 beam의 왜곡을 줄이고 선명도를
향상시켜 고해상도의 이미지 구현
■ Detector
▶Side mounted ETD (Everhart-Thornley Detector)
BN ceramc nano-sheets
▶Retractable BSE Detector (ETD)
High-entropy alloy powder
▶Low Vacuum Detector (LVD)
저 진공용 LVD(SED) 조건에서 분석
고 진공 조건에서는 beam charge-up 발생
Images gallery
PA-glass fiber composite material (10kV)
Metal break (10kV)
Cauliflower Pollen (10kV)
Ceramic (3kV)
Chip (5kV)
