특징 

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• 광전류 이미지 및 측정 가능(Source/drain, gate dependence)

• 3개의 Freespace laser 장착 가능

• 200um x 200um 의 광범위 스캔 (40X 대물렌즈)

• Probe 위치와 stage 주문 제작 가능

• Bending 또는 straight probe tip 가능

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구성

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• 현미경

• Raman 본체

• 대물렌즈

• 광전류 모듈(Probe statin unit, On-stage plate, Probe tips)

• 레이저 스캐닝 모듈

• Sourcemeter unit (Keithley 2400 or 2600 series)

• Raman laser/filter set

• NanoSpectrum 분석 소프트웨어

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유연성/확장성

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• ​기존 사용 장비에 추가 구축 가능

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